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簡述掃碼電子顯微鏡的樣品制備方法

發布日期: 2022-05-12
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  掃碼電子顯微鏡是利用二次電子和背散射電子信號,通過真空系統、電子束系統和成像系統獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息,如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等的一種分析儀器。隨著科學技術水平的提高,其放大倍數可達幾十萬倍,分辨率可達納米級別,是形貌和成分分析領域重要的一種工具。
  那么掃碼電子顯微鏡的樣品如何制備呢?
  1、塊樣
  對于金屬、巖礦或無機物,切割成要求的尺寸,粘在樣品臺上。如果樣品數量多,注意樣品尺寸應一致。
  微區成分分析樣品表面應該平臺或經研磨拋光,可以保證檢測時幾何條件不變。對于樣品的斷口面,要選擇起伏不大的部位,應是分析點附近有小的平坦區。樣品表面和底面應該平行。
  非導電或導電性較差的材料,要先進行鍍膜處理,在材料表面形成一層導電膜。以避免電荷積累,影響圖像質量,并可防止試樣的熱損傷。
  2、粉樣
 ?。?)微米級粉料:將粉樣撒在樣品臺的雙面膠上,用手指輕彈樣品臺四周,粉料會均勻地向四周移動,鋪平一層,側置樣品臺,把多余粉料抖掉;用紙邊輕刮、輕壓粉料面,使粉料與膠面貼實;用耳球從不同方向吹拂粉料。經此過程,粉料已牢固、均勻地粘在雙面膠上。
 ?。?)對于亞微米級或納米粉料進行成分分析:利用壓片機壓成結實的薄片。把薄片用雙面膠粘在樣品臺上。
  因為掃碼電子顯微鏡不是同時記錄的,它是分解為近百萬個逐次依此記錄構成的。使得它除了觀察表面形貌外還能進行成分和元素的分析,以及通過電子通道花樣進行結晶學分析,選區尺寸可以從10μm到3μm。
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